Aplikace krystalizace RTP rychlé žíhací pece při řízení anizotropie filmů železného granátu

Jan 05, 2024

Zanechat vzkaz

Železné granáty ze vzácných zemin (REIG) jsou druh minerálu bohatého na prvky vzácných zemin, a to díky svým jedinečným fyzikálním a chemickým vlastnostem a vykazují velký aplikační potenciál v oblasti spintroniky a magnetických elektronů. Jeho rychlá mechanika spinových vln, vysoké rychlosti doménových stěn a nízké až střední tlumicí vlastnosti z něj činí vynikající výkon v mikrovlnných zařízeních a vysokofrekvenčních komunikacích [1]. Granát vzácných zemin má zároveň také dobré magnetické vlastnosti, díky čemuž je ideální volbou pro ukládání dat a magnetické senzory, v oblasti elektroniky, komunikací, laserů a ukládání dat. Napěťově indukovaná modulace anizotropie na filmech železného granátu ze vzácných zemin pěstovaných na piezoelektrických substrátech však nebyla prokázána.

 

V současnosti Miela J. Gross[2] použila technologii magnetronového naprašování k přípravě 5nm SiO2 povlaků na Si (001) nebo PMN-PT (011) substrátech. Následně byly chemické cíle DyIG a YIG úspěšně kodeponovány technologií pulzního laserového nanášení (PLD) za účelem přípravy filmů YDyIG o tloušťce 42 nm. Bylo provedeno rychlé tepelné zpracování (RTP) po dobu 5 minut při 750 stupních O2 atmosféry, aby se podpořila krystalizace filmu, čímž se zlepšil řád a výkon jeho granátové struktury.